Équipement pour les semi-conducteurs

QSGroup est le leader en ce qui concerne les services et les produits dédiés à la surveillance dans les secteurs de production des semi-conducteurs. Cette industrie prévoit la présence de zones très exigeantes et nécessite de surveiller des salles blanches dans des catégories très dures (ISO 1 et ISO 2).

Les produits que nous avons sélectionnés

CPC AeroTrak 9001

CPC AeroTrak 9001

Ses caractéristiques techniques:

  • Débit d’échantillonnage atteignant les 0.1 cfm (2.83 LPM).
  • Sensibilité atteignant les 10 nm.
  • Taux de faux comptage extrêmement bas (<0,07 particules/ft3).
  • Utilisation d’eau ultra pure ou distillée comme fluide de service (pas d’alcool et d’autres produits chimiques dans la salle blanche)
  • Utilisable pour surveiller les gaz comprimés avec con HPD (High Pressure Diffuser, modèle 7950) pour contrôler le CDA, N2, AR.

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TSI 9110

TSI 9110

Ses caractéristiques techniques:

  • Débit d’échantillonnage atteignant les 0.1 cfm (2.83 LPM).
  • Sensibilité: de 0.1 à 10 μm.
  • Jusqu’à 8 canaux de surveillance en même temps.
  • Une vaste mémoire pour le stockage de données: 250 zones, 999 emplacements, et 10 000 échantillons.
  • Une batterie longue durée: jusqu’à 10 heures d’utilisation continue.
  • Conformité aux normes ISO 14644-1, EU GMP Annex 1, FS209E, 21501-4.
  • Conformité parfaite à l’intégrité des données: ISO 21 CFR 11.
  • Utilisable en modalité autonome ou bien dans un système de surveillance continue.

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SAC Particle Deposition Monitor

SAC Particle Deposition Monitor

Ses caractéristiques techniques:

  • Suivi en continu des macro-particules qui mesurent >5 μm.
  • Appareil photo avec 162 MegaPixel.
  • Des disques spéciaux où les macro-particules se déposent, surveillés toutes les 20 secondes.
  • Les données permettent de remonter à la source de la contamination pour mettre en place rapidement des mesures correctives.

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